PLイメージング装置の代表モデル
SemiScope PLI-210

SemiScope PLI-210は、1μｍ以下の分解能でフォトルミネッセンス（PL）画像を得ることができるPLイメージング装置で、SemiScopeシリーズを代表するモデルです。
ウェハ全面測定を行うタイリング機能を用いると、φ150mm（6インチ）ウェハにおいて、分解能2.6μm、総画素数33億画素のPL画像を得ることができます。
PLI-210の標準装備カメラには、積層欠陥の測定波長となる紫外から、基底面転位欠陥や貫通転位欠陥の測定波長となる赤外領域までの全領域において、優れた量子効率を有するバックイルミネート・ディープディプレッションCCDカメラを使用しています。

カラー画像を得られるPLイメージング装置
SemiScope PLI-210D

SemiScope PLI-210Dは、高感度白黒カメラを搭載したPLI-210の機能に加え、色再現性の優れた高感度カラーカメラを搭載することで、積層欠陥のカラーPL画像を得ることができます。
積層欠陥PL画像のカラー化により、積層欠陥の種類でPL波長が異なることを利用して、積層欠陥の結晶構造を区別することができます。
積層欠陥のカラーPL画像と白黒カメラによるDeep Level PL画像は、専用のダイクロイクミラーにより、ほとんどロスなく光を分離できるため同時測定が可能で、1回のウェハ全面測定で2種類のPL画像を得ることができます。また、キーボード操作でダイクロイクミラーを光路から外すことにより、高感度白黒カメラによる積層欠陥測定も行うことができます（PLI-210と同一仕様）。

NEW
スペクトル線分析対応
SemiScope PLIS-TEC

SemiScope PLIS-TECは、PLによる結晶欠陥の研究において画期的な測定装置です。
PLイメージング画像で選択した線分において、その線分を1000点に分割した各スペクトルを同時に測定することができます。
励起光の密度も、通常のPLスペクトル測定に比べ3桁程度低いため、拡張欠陥においても測定することが可能です。また、線分をスペクトル化するため、基底面転移のような位置の特定が難しい欠陥でも、正確にスペクトルを測定することができます。

NEW
研究用PLイメージング装置
SemiScope PLI-50

SemiScope PLI-50は、多くの研究者の方にPLイメージング技術を活用していただけるように、φ150mmウェハの全面測定用タイリングなどPLイメージング測定に重要な機能をそのままにコストを抑えたモデルです。
また、オプションの対物レンズを増設することで、分解能1μｍ以下のPL画像測定も行うことができます。

高速PLイメージング装置
SemiScope PLI-SR

SemiScope PLI-SRは、量産工程用評価装置として開発されたモデルで、PLI-SRの中でも最速であるPLI-SR�Uの場合、SiCφ150mmウェハの計測時間は、分解能は2.2μm、総画素数は47億画素の仕様において、8分以下で行うことができます。
PLI-SRの高速化技術は、複数台の測定用カメラを搭載し測定領域を分割することでの高速化、高速読出しが可能なカメラの採用、新しく開発された高速駆動ステージ、高速アクセスソフトウェアなど最先端の技術で、短時間での計測を可能にしました。
また、結晶欠陥解析装置と組み合わせると、各カメラを制御している測定用コンピュータからリアルタイムで解析装置にデータを転送し、計測と解析を同時に行うことができます。

PLイメージング装置
SemiScope PLI-200

SemiScope PLI-200は、SiC評価用PLイメージング装置の標準モデルです。
従来モデルのPLI-100シリーズと比べ、照射光の均一性が大幅に改善され、照射強度も約2倍になりました。
励起波長は4種類から選択することができるため、異なる浸入長での測定が可能です。
対物レンズは、波長域と倍率に応じて8種類の専用レンズが用意され、最高分解能1μｍ以下のPL画像や、最大6インチ（150mm）ウェハの全面測定を行うことができます。

PLスペクトル・イメージング装置
SemiScope PLIS-200

SemiScope PLIS-200は、PLイメージング測定機能に加え、結晶欠陥部のスペクトルを測定することができるSiC半導体用PLイメージング装置です。
PLイメージング機能により結晶欠陥部を確認した後、レーザ光の照射位置を、PLイメージング機能を用いて結晶欠陥部の画像に重ねて可視化できるため、測定点を正確に把握することができます。

顕微赤外PLスペクトル測定装置

顕微赤外PLスペクトル測定装置は、輻射熱を遮る改良型赤外マルチチャネルディテクタやノイズ除去ソフトウェア、弱励起PL測定を行うための機構など、長年のPL装置開発により蓄積されたフォトンデザイン独自のノウハウを用いることで、S／Nの良いスペクトルを得ることができます。
さらに、試料の面内分布を測定するマッピング機能、低温PL測定用のクライオスタットやクライオスタット周辺装置など、多くの関連装置を用意しています。

シリコン用不純物濃度測定装置

シリコン用不純物濃度測定装置は、JAXA田島道夫教授が開発・提唱されたシリコン中のボロン、リン、アルミニウム、ヒ素の不純物濃度を、PLスペクトル測定により定量分析を行う装置で、日本工業規格*1、SEMI規格*2に基づいて設計されています。
改良型赤外マルチチャネルディテクタやノイズ除去に優れた効果を発揮する測定法など、フォトンデザイン独自の技術により、S／Nの優れたスペクトルを得ることができます。
さらに、この装置は、観察用CCDカメラを3台搭載することで、試料の正確な位置合わせを行うことができます。
*1）JIS H-0615：フォトルミネッセンスによるシリコン中の不純物濃度測定法
*2）SEMI MF1389-0704：Test methods for photoluminescence analysis of single crystal silicon for III-V impurities

太陽電池用PLイメージング測定装置

太陽電池用PLイメージング測定装置は、1μｍの分解能で赤外PL画像を測定することができるPL装置で、主にポリシリコンの測定に用います。
励起光には、半導体レーザ（808nm）と均一化光学系を組み合わせた太陽電池用PLイメージング測定装置専用の光源を使用します。
測定するPL波長は、900nmから1600nmの範囲で選択することができます。
低温PLイメージング測定には、目的に応じて数種類のクライオスタットが用意されています。
また、808nm以外の励起光に関しても対応いたします。
詳しくは弊社技術部までお問い合わせください。

太陽電池用PLスペクトル・
 　　イメージング測定装置

太陽電池用PLスペクトル・イメージング測定装置は、PLイメージング測定機能に加え、結晶欠陥部のスペクトルを測定する機能を持つPLイメージング装置です。
PLイメージング機能により結晶欠陥部を確認した後、レーザ光の照射位置をPLイメージング機能を用いて結晶欠陥部の画像に重ねて可視化できるため、測定点を正確に把握することができます。
冷却型赤外２次元ディテクタは高価ですが、この装置では、イメージング機能とスペクトル機能を、ひとつの赤外ディテクタで行うことができます。

顕微PLスペクトル測定装置

顕微PLスペクトル測定装置には、測定範囲が350nmから1800nmのモデルと、200nmから2200nmのモデルの2種類があります。
350nmから1800nmのモデルでは、高性能な硝材を用いて、色収差を回折限界以下に抑えています。
また、200nmから2200nmのモデルでは、反射対物レンズをはじめ、顕微サンプル室内部の光学系をすべて反射光学系で設計しています。
そのため、どちらのモデルも、色収差の影響を心配することなく、再現性の良いスペクトルを得ることができます。

PLスペクトルマッピング測定装置
DUVPL

SiC、GaN、ZnOなどのワイドバンドギャップに最適

PLスペクトルマッピング測定装置DUVPLは、測定光路に高性能非球面ミラーを用いることで、深紫外から近赤外までの全測定領域において、高感度と高再現性を有する装置です。
特に、従来のレンズ集光系では色収差補正が困難な紫外領域測定において、大きな威力を発揮します。
このため、SiC、GaN、ZnOなどのワイドバンドギャップ半導体PLスペクトル測定に広く使用されています。
DUVPLは、レーザ、サンプル室、分光器、ディテクタ、架台の各々に、数種類のモデルが用意され、目的に応じて組み合わせることができるコンポーネントタイプです。

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ラマン測定装置
JUPITER

トリプルモノクロメータを用いたラマン測定装置JUPITERは、低波数領域のラマン測定や、深紫外領域をはじめ特殊な波長のためにレーザ光除去フィルタが用意されていない励起レーザでのラマン測定に適しています。
特にJUPITER-PDPXは、低波数領域の限界測定にチャレンジした顕微ラマン測定装置で、レーザ除去フィルタでは得られない優れた性能を持っています。

ラマン測定装置
MARS

シングルラマン測定装置MARSは、光学フィルタにより迷光除去性能を確保したラマン測定装置で、分光器はシングルモノクロメータ（スペクトログラフ）を搭載しています。
高性能可変コンフォーカル機構、高倍率と広視野を両立させた観察系など、分光測定のために設計された高性能顕微サンプル室RSM800による測定は、汎用型顕微ラマン測定装置では得られない測定結果が期待できます。

Deep UVラマン測定装置
JUPITER-DUV

Deep UVラマン測定装置は、244nmや266nmの深紫外レーザを用いたラマン装置で、短波長では試料への浸入長が浅くなることを利用して、主に表面分析に用いられています。
Deep UV波長においては、励起レーザ光を除去する光学フィルタの性能が著しく低下するため、JUPITER-DUVでは、トリプルモノクロメータを用いています。
また、深紫外領域では、ラマンスペクトルを波数軸で測定するために波数分解能の低下が起こります。
これを補うために、分光器の3段目に当たるスペクトログラフの焦点距離を、標準の640mm のほかに、1000mm、1500mm、2000mmから選択することができます。

顕微赤外ラマン測定装置
MARS-IR

顕微赤外ラマン測定装置MARS-IRは、1064nm励起レーザを用いた顕微ラマン装置で、主に蛍光除去対策に効果を発揮します。
MARS-IRでは、赤外対物レンズをはじめ、分光顕微鏡として開発された光学系すべてを、可視域から赤外ラマンの測定波長範囲まで回折限界以下に色収差を補正しているため、 赤外測定であることを意識せずに、可視光による試料合わせで、顕微赤外ラマン測定を行うことができます。
さらに、輻射熱シールドを施したフォトンデザイン独自の赤外マルチチャネルディテクタやノイズ除去に優れた効果を発揮する測定法などにより、S／Nの優れたスペクトルを得ることができます。

歪シリコン測定装置
SRM

歪シリコンの応力測定は、シリコンのラマンスペクトルの僅かなシフトから応力を計算するため、高い波数分解能と波数の安定性が求められます。
歪シリコン測定装置SRMには、同装置専用の焦点距離2000mmを誇る高分解能スペクトログラフを用いています。
このスペクトログラフは膨張係数がアルミニウムの1／100であるスーパーインバーを使用。
波長補正機構（特許）と合わせて、非常に高い波長精度を備えています。
さらに、この測定装置は、50μmまたは100μm線分を500ポイントのスペクトルとして同時に測定できるライン測定機能を持っています。

分光器
PDP320

シングル分光器PDP320は、CCDディテクタをはじめとするマルチチャネルディテクタ（MCD）のために開発されたスペクトログラフです。
測定スペクトルの中心部はもとより、周辺部においても優れた波長分解能と対称性の良いスペクトルが得られる高い解像度を備えています。
さらに、低刻線数グレーティングで問題となる多重回折を生じさせない光学系は、MCDとの組み合わせにおいて重要な性能のひとつです。
最大4枚のグレーティングが搭載可能で、電動グレーティングターレットで切り換えて使用することができます。
また、入射スリットビュアを標準装備し、電動入射スリットなどのオプションも豊富です。

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分光器
PDP1000

シングル分光器PDP1000は、焦点距離が1000mmのスペクトログラフです。
分光器の筐体には、線膨張率が、アルミニウムと比べ2桁低いスーパーインバーを用いているため、安定したスペクトルが得られます。

分光器
PDP1500／PDP2000

シングル分光器PDP1500、PDP2000は、焦点距離が1500mm、2000mmのスペクトログラフです。
分光器の筐体には、線膨張率がアルミニウムと比べ2桁低い、スーパーインバーを用いています。
分光器には室温変動の影響を軽減するための専用カバーが付属されていますが、さらに高い安定性が必要な測定においては、オプションで温調装置が用意されています。
エシェルグレーティングの装着も可能です。

分光器コントローラ
MCU-301

当社の分光器製品シリーズを駆動するためのコントローラです。
波長駆動を１軸、グレーティングターレット駆動を１軸、スリットを２軸まで制御できます。
MCU-301は、専用の設定ソフトで分光器の機械パラメータと光学パラメータを設定することで、パソコンからの簡単な命令で制御できるようになっています。パソコンとの通信にはRS232Cを使用します。
トリプル分光器には、MCU-301を1台、または2台使用します。

トリプル分光器
PDPX

トリプル分光器PDPXは、最も迷光除去率の高いスペクトログラフを目指し開発された分光器です。
トラッキングエラーを軽減するためにスーパーインバー筐体や一軸グレーティングシャフトを採用しています。
焦点距離は、前置差分散モノクロメータとスペクトログラフともに640mmです。
独立走査の中間スリットやノッチドスリットのユニークな機能は、測定の可能性を広げます。
さらに入射光路やカプリングの確認ができるCCDカメラなど、便利な機能も内蔵されています。

トリプル分光器
PDPT320／PDPT640

トリプル分光器PDPTは、前置差分散ダブルモノクロメータに焦点距離320mmを配置したスペクトログラフで、スペクトログラフの焦点距離が320mmと640mmの2種類のモデルを用意しています。
さらに高波長分解能が必要なアプリケーションに対応できるよう、焦点距離1000mm以上の分光器との組み合わせも受注生産いたします。

特注分光器

フォトンデザインでは、特注の分光器もお受けしています。以下に特注分光器の一部をご紹介します。
■高速スキャン型トリプルスペクトログラフ：
差分散ダブルモノクロメータのノッチドスリットが駆動することで、連続可変する励起光に同期しての測定を可能とします。
■プリズムトリプルスペクトログラフ：
高次光が生じないため広い波長範囲で測定が可能です。
■単色光源用差分散ダブルモノクロメータ：
通常の光源用モノクロメータと異なり、照射面積を変えずに明るさと波長分解能を変えることができます。

顕微分光測定ヘッド
COMET

COMETは、光ファイバを使用してレーザや分光器と接続するモジュール型顕微分光測定ヘッドです。
試料観察用CCDカメラ、視野照明、測定／観察電動光路切換器が内蔵され、レーザ用フィルタ、散乱光用フィルタなどの設置も可能です。
試料観察用CCDカメラは、測定場所を探すための広視野像用観察系と、測定位置を正確に合わせる高倍率像用観察系の２系統が内蔵されています。

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ユニバーサル顕微鏡
PDスコープ

PDスコープは、分光用に開発された紫外域や赤外域に対応した対物レンズを画像測定に利用したユニークな顕微鏡で、対物レンズを選択することで、専用カメラにより紫外顕微鏡像や赤外顕微鏡像を得ることができます。
オプションのユニットを取り付けることにより、PL像や蛍光像を得ることもできます。
PDスコープ内部には、試料位置を確認するための試料観察用CCDカメラや視野照明装置が内蔵されています。

ファイバ入射ユニット
FN11

ファイバ入射ユニットFN11は、レーザ光を光ファイバに入射させるときに便利な装置です。
内蔵された高倍率CCDカメラにより、ファイバ端面に集光したレーザスポットをモニタ上で確認することができ、10μｍ以下のファイバコアにも簡単にレーザ光を入射させることができます。
光学調整時には内蔵のレーザ光減光機能により、光学調整時に起こりがちな、ファイバとフェルール間の接着層をレーザ光が通過することで接着剤を溶かし、ファイバ端面に焼付けを起こすという心配がありません。

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ダイヤモンドアンビルセル圧力モニタ装置

ダイヤモンドアンビルセルに代表される高圧アンビルセルは、ルビーなどの圧力マーカの蛍光波長を測定することで内部の圧力をモニタすることができます。
フォトンデザインの高圧アンビルセル圧力モニタ装置は、レーザ光を用いてアンビルのガスケットにセットされたマーカに照射し、マーカからの蛍光を集光してスペクトル測定をする分光装置です。
測定ユニットにはレーザ照射光路、蛍光集光光路に加え、マーカの位置を確認し正確に照射するための観察系が内蔵されています。
観察系には、マーカであることを確認するために、蛍光像が見えるフィルタを挿入することができます。
さらに、低倍率観察用のCCDカメラも内蔵され、ガスケット穴径の大きいサファイヤアンビルセルやダイヤモンドの噛み合わせの確認にも有効です。
高圧下のラマンやPL測定を行えるモデルも用意されています。

倒立顕微サンプル室分光装置

倒立顕微鏡を用いた顕微分光サンプル室で、通常の倒立顕微鏡に加え、励起レーザ入射系、散乱光出射系、専用観察機構などが備わっています。
散乱光路にはコンフォーカル光学系が内蔵されているため、本格的な顕微ラマン測定や顕微蛍光測定が行えます。
レーザなどの励起光源や分光装置については、研究目的に応じてご提案いたします。

分光用プローブヘッド（リモートラマン他）

リモートラマン装置やリモート蛍光装置などに用いられるプローブヘッドです。
励起光と散乱光は光ファイバを用いてヘッドと接続します。
フォトンデザインでは、小型ヘッドや観察系内蔵ヘッドなど、多くの種類のヘッドを製作しています。

広波長域測定装置

紫外・可視領域と赤外領域とにまたがるスペクトル測定用に設計された分光装置です。
紫外・可視用マルチチャネルディテクタと、赤外用マルチチャネルディテクタに、それぞれ専用の分光器を配することで各波長において高いスループットが得られます。
試料の発光を分光器に導く光学系は、PLスペクトルマッピング測定装置のために開発された高性能非球面ミラーを使用。色収差が無く、高い集光効率が得られます。

励起波長可変分光装置

蛍光測定やPL測定において、励起波長を連続して可変することができる分光装置です。
蛍光においては励起スペクトルと蛍光スペクトル、フォトルミネッセンスにおいてはPLスペクトルとPLEスペクトルを３Dスペクトルとして測定することができます。

簡易PLスペクトル測定装置

簡易PLスペクトル測定装置は、PLスペクトルマッピング測定装置DUVPLで開発した非球面ミラーを使用しているため、高い性能を有しています。
このように、大型装置用に開発した光学部品を用いて高性能化を可能にした簡易分光装置も用意しています。